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Sulfur hexafluoride has an extremely high global warming potential (GWP) because of strong absorption of infraredradiation and long atmospheric lifetime which cause the global warming effect. This study is to identify the effects of destruction and removal efficiency of SF6 by the addition of conditioning agent (oxygen, water vapor and hydrogen) when using the high ionization energy. The irradiation intensity of ionization energy was 2 mA, 5 mA, 10 mA and 15 mA. The SF6 was completely removed with H2O and H2 gas injection at 2 mA. Main by-products were HF and F2 gases. HF and F2 gas formation was increased with irradiation intensity increasing. Most of the by-products of particle were sulfur and metal sulfate.

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