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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
Leila Fekri Aval (Islamic Azad University) Seyed Mohammad Elahi (Islamic Azad University)
저널정보
대한금속·재료학회 Electronic Materials Letters Electronic Materials Letters Vol.13 No.1
발행연도
2017.1
수록면
77 - 85 (9page)

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In this study a palladium nanoparticles-gate MOS capacitorhydrogen sensor with Pd/SiO2/Si structure has been fabricated. The palladium nanoparticles by chemical method aresynthesized and then characterized by transmission electronmicroscope (TEM), X-ray diffraction (XRD) and UV-VISspectrum. Also, the preferred orientation and grain size of thepalladium nanoparticles have been studied. Hydrogen absorptionand desorption of the palladium nanoparticles at the low andhigh pressure and as function of time have been investigated. The sensing mechanism of the hydrogen detection by MOScapacitor sensor has been explained and theoretical andexperimental results have been compared. At 287 K, comparedto another Pd MOS capacitor hydrogen sensor and ultrathin Pd MOS capacitor, the palladium nanoparticles gate MOS capacitorshowed much faster response and recovery speed. The time interval for reaching to 95% of the steady state signal magnitude(t95%) for 1% and 2% hydrogen in nitrogen were 2 s and 1.5 s respectively. The time interval for recovery transients from 95% to10% of steady state signal magnitude (t10%) for 1% and 2% hydrogen in nitrogen were 10 s and 11 s respectively. The presentedsensor illustrates a designing of hydrogen detectors with very fast response and recovery speed.

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M. N. Carcassi / 2005 / Energy 30:1439 google schola R. Ramachandran / 1998 / Int. J. Hydrogen Energy 23:593 google schola T. A. Czuppon / 1996 / Kirk-Othmer Encyclopedia of Chemical Technology / John Wiley and Sons :884 google schola W. J. Buttner / 2011 / Int. J. Hydrogen Energy 36:2462 google schola L. Boon-Brett / 2010 / Int. J. Hydrogen Energy 35:373 google schola

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