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조은경 (성균관대학교) 안정현 (성균관대학교) 하태은 (성균관대학교) 임화림 (성균관대학교) 김용상 (성균관대학교)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2021년도 대한전기학회 전기물성∙응용부문회 추계학술대회 논문집
발행연도
2021.10
수록면
82 - 83 (2page)

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본 논문에서는 ZrO₂에 Y₂O₃을 도핑하여 유전 상수를 향상시키는 방법을 제안한다. Yttrium-doped Zirconium 박막은 고농도로 도핑된 p형 실리콘 위에 spin coating 방식으로 제작되었다. ZrO₂에 Y₂O₃의 도핑 농도를 1:8, 1:4, 1:2로 변경하여 전기적 특성을 분석하였다. 그 결과, 도핑 농도가 증가할수록 유전 상수는 증가하였고, 누설 전류는 ... 전체 초록 보기

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