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논문 기본 정보

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학술대회자료
저자정보
오란거 (서울과학기술대학교) 이상훈 (서울과학기술대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.5
수록면
501 - 501 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2021

폴리실리콘 도핑 농도의 따른 바람저항형 유속센서의 특성 측정
오란거 ,  이상훈 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2021.05 학술대회자료
폴리실리콘 도핑 농도에 따른 바람저항형 유속센서의 특성에 대한 연구
오란거 자동차공학과 2021.01 학위논문

초록· 키워드

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본 연구에서는 폴리실리콘을 압저항체로 사용하는 바람저항형 유속센서를 제작하였다. 이 유속센서는 바람에 대한 영향을 크게 하기 위해 외팔보와 패들 구조와 구성되어 있으며, 실리콘 질화막을 기본 구조물질로 사용하여 제작되었다. 폴리실리콘은 휨을 측정하기 위한 압저항체로 사용되었으며, 일반 금속에 비해 게이지율이 매우 높은 특징을 지닌다. 또한, 도핑된 붕소의 농도를 조절하면 압저항특성과 열저항계수 등의 특성을 바꿀 수 있다. 따라서, 본 연구에서는 붕소 농도를 조절한 여러 소자를 제작하고 그 특성을 비교하고자 하였다. 제작된 소자들은 실험실환경의 풍동에서 특성을 측정하였으며, 저속과 고속을 모두 포함하는 0에서 30 m/s 범위에서 실험을 진행하였다. 저속의 낮 ... 전체 초록 보기
#Air flowmeter #Drag force #Polysilicon doping concentration #Piezoresistive #Thermal effect

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