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We demonstrate a fabrication of an atomically controlled single-crystal heart-shaped nanostructure using a convergent electron beam in a scanning transmission electron microscope. The delicately controlled e-beam enable epitaxial crystallization of perovskite oxide LaAlO3 grown out of the relative conductive interface (i.e. 2 dimensional electron gas) between amorphous LaAlO3/crystalline SrTiO3.
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M. Altissimo / 2010 / E-beam lithography for micro-nanofabrication / Biomicrofluidics 4(2):026503
W. Ehrfeld / 1995 / Deep X-ray lithography for the production of threedimensional microstructures from metals, polymers and ceramics / Radiat. Phys. Chem 45(3):349~365
S. Jesse / 2015 / Atomic-level sculpting of crystalline oxides: toward bulk nanofabrication with single atomic plane precision / Small 11(44):5895~5900
G. Lee / 2017 / Electron beam induced epitaxial crystallization in a conducting and insulating a-LaAlO3/SrTiO3 system / RSC Adv. 7(64):40279~40285
M. D. Levenson / 1982 / Improving resolution in photolithography with a phase-shifting mask / IEEE Trans. Electron Devices 29(12):1828~1836
W. Ehrfeld / 1995 / Deep X-ray lithography for the production of threedimensional microstructures from metals, polymers and ceramics / Radiat. Phys. Chem 45(3):349~365
S. Jesse / 2015 / Atomic-level sculpting of crystalline oxides: toward bulk nanofabrication with single atomic plane precision / Small 11(44):5895~5900
G. Lee / 2017 / Electron beam induced epitaxial crystallization in a conducting and insulating a-LaAlO3/SrTiO3 system / RSC Adv. 7(64):40279~40285
M. D. Levenson / 1982 / Improving resolution in photolithography with a phase-shifting mask / IEEE Trans. Electron Devices 29(12):1828~1836
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