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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
정현일 (조선대학교) 신주엽 (하백) 박종현 (조선대학교) 정현철 (조선대학교) 김경석 (조선대학교)
저널정보
한국기계가공학회 한국기계가공학회지 한국기계가공학회지 제20권 제9호
발행연도
2021.9
수록면
84 - 89 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2021

스퍼터링 공법으로 제작한 ITO 박막의 디지털 홀로그래피를 이용한 단차에 대한 측정
정현일 ,  신주엽 ,  박종현 외 2명 한국기계가공학회지 2021.09 학술저널
셰이커를 이용한 임의의 위상 추출 방식 디지털 홀로그래피를 이용한 ITO 박막의 단차 측정에 대한 연구
정현일 기계시스템·미래자동차공학과 2021.01 학위논문

2015

디지털 홀로그래피를 이용한 박막 결함 측정에 대한 연구
정현일 첨단부품소재공학과 2015.01 학위논문

2014

투과형 디지털 홀로그래피 시스템을 이용한 ITO 박막의 결함 측정
정현일 ,  신주엽 ,  마혜준 외 4명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2014.10 학술대회자료

초록· 키워드

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Indium tin oxide (ITO) transparent electrodes, which are used to manufacture organic light-emitting diodes, are used in light-emitting surface electrodes of display EL panels such as cell phones and TVs, liquid crystal panels, transparent switches, and plane heating elements. ITO is a major component that consists of indium and tin and is advantageous in terms of obtaining sheet resistance and light transmittance in a thin film. However, the optical performance of devices decreases with an increase in its thickness. A digital holography system was constructed and measured for the step measurement of the ITO thin film, and the reliability of the technique was verified by comparing the FE-SEM measurement results. The error rate of the step difference measurement was within ±5%. This result demonstrated that this technique is useful for applications in advanced MEMS and NEMS industrial fields.
#ITO(인듐 주석 산화물) #Sputtering Method(스퍼터링 공법) #Digital Holography(디지털 홀로그래피) #Measurement of Step Difference(단차 측정) #Transmission(투과형)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 실험 장비 및 내용
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
REFERENCES

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