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논문 기본 정보

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학술대회자료
저자정보
임정욱 (부산대학교) 김연주 (한국생산기술연구원) 김용환 (한국생산기술연구원) 송풍근 (부산대학교) 권아람 (한국생산기술연구원)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2021년도 한국표면공학회 춘계학술대회
발행연도
2021.6
수록면
104 - 104 (1page)

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4차 산업의 발달과 5G 통신 기술의 발달로 고주파 송수신 기술의 중요성이 증가함에 따라 전자기기들의 소형화, 집적화로 인해 전자기기 부품 간의 전파 장애 문제 또한 증가하고 있다. 대표적인 고주파 영역의 전자파 차폐/흡수 소재로 금속 소재가 많이 사용되나 높은 부식성과 두꺼운 두께로 인해 집적화 된 전자부품에 사용하는데 한계가 있다. 따라서 적절한 내식성을 가지면서 비교적 얇은 두께에서 높은 전자파 차폐/흡수율을 가지는 chip package용 전자파 차폐/흡수 박막의 필요성이 요구된다. 따라서 본 연구에서는 금속 모재의 부식을 막고 높은 내식성을 가진다고 알려진 Ni-Zn 합금 박막을 마그네트론 스퍼터링 진공 증착법을 이용하여 일정한 두께(~370 nm)의 박막을 증착하였고 각각의 합금성분의 조성에 따라 전자파 차폐/흡수율의 특성 거동 및 내식성을 비교 분석하였다. XRD, SEM 및 EDS 분석을 통해 박막의 상(Phase), 표면 Morphology, 조성을 확인하였다. 비교적 측정이 쉬운 4 point probe 방법으로 면저항을 측정하여 원거리 영역에서의 전자파 차폐/흡수율을 계산하였다. 또한 IEC 62333-2을 적용한 마이크로스트립라인(Mic ... 전체 초록 보기

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