2차원 기능성 나노소재를 이용한 유연 적외선 센서 개발

김용훈

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김용훈 (한국재료연구원)

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2021년도 한국표면공학회 춘계학술대회

발행연도: 2021.6

수록면: 67 - 67 (1page)

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Atomically two-dimensional (2D) transition metal dichalcogenides (TMDs) materials have attracted a great deal of attention in broad range of optoelectronic devices for image sensors, biomedical imaging, consumer electronics, and diverse spectroscopies. However, the complicated fabrication process, involving transfer and alignment technique of the as-synthesized 2D layers onto flexible target substrates, often hinders high-performance heterojunction-based photodetectors with high degree of mechanical flexibility.
In this regard, we successfully fabricated the ultra-flexible 2D-MoS<sub>2</sub>/Si heterojunction-based photodetector using atmospheric-pressure heterojunction-based photodetector using atmospheric-pressure plasma enhanced chemical vapor deposition (AP-PECVD) method, which could enable the direct deposition of multi-layered MoS<sub>2</sub> directly onto flexible Si substrate at unusual low temperature below 200°C.[1] The photodetector is responsive to the illumination of near infrared (NIR ... 전체 초록 보기

#two-dimensional materials #MoS₂/Si #heterojunctions #photodetectors #atomospheric-pressure plasma enhanced chemical vapor deposition

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