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한국수소및신에너지학회 한국수소및신에너지학회논문집 수소에너지 제10권 제4호
발행연도
1999.12
수록면
191 - 196 (6page)

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팔라디움 박막시료들(두께 18 ∼ 67㎚)에 대한 수소 흡수-방출 동역학을 4-극 전기비저항 측정법을 이용하여 연구하였다. 실험온도와 수소압력은 25 ∼ 50℃, 0 ∼ 5 torr 범위였다. 팔라디움 박막은 고진공내에서 열증착 방법으로 사파이어 기판 위에 제작하였다. 수소 흡수-방출과정을 약 100회 반복할 때까지 시료들의 분말화 현상은 관찰되지 않았으나 박막의 일부가 기판으로부터 분리되는 현상이 관찰되었다. 정방향 반응과 역방향 반응을 분리하여 분석하였다. 반응율에 대한 Arrhenius 그림에서 수소 흡수 방출 활성화 에너지를 얻었다. 팔라디움 박막의 활성화 에너지 값들은 박막의 두께 변화에 강하게 의존하지 않았다. 그러나 매우 얇은 박막(두께18㎚)의 활성화 에너지 값은 다른 박막의 활성화 에너지 값들보다 작은 경향을 보였다.

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