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한국수소및신에너지학회 한국수소및신에너지학회논문집 수소에너지 제9권 제3호
발행연도
1998.9
수록면
127 - 133 (7page)

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각각 다른 기판온도에서 진공 증착법으로 제작된 Pd 박막들의(두께 180Å) 수소 흡수-방출 동역학을 실험하였다. α상, 25∼50℃ 온도영역에서 수소기체를 흡수-방출 시키면서 정방향과 역방향 활성화에너지를 구하고 반응엔탈피를 구하였다. 기판의 온도가 상온인 시료는 정반응 활성화에너지가 6.4±0.4 ㎉/㏖ H이고 역방향은 8.4±1.5 ㎉/㏖ H, 반응엔탈피는 -2㎉/㏖ H였다. 기판의 온도가 300℃인 시료는 정방향 활성화에너지 -0.18±0.61 ㎉/㏖ H이고 역방향 활성화에너지 -0.17±2.3㎉/㏖ H였다. 기판의 온도가 300℃인 시료의 구조적 치밀성, 온도변화에 따른 비저항 값의 변화율 등을 측정해 보았을 때 기판의 온도가 상온인 시료에 비하여 더 안정된 상태였지만 활성화 에너지의 오차값이 크게 얻어졌다.

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