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임재승 (한국기계연구원) 한성흠 (한국기계연구원) 이재학 (한국기계연구원) 박아영 (한국기계연구원) 박광렬 (한국기계연구원) 김승만 (한국기계연구원)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.5
수록면
507 - 507 (1page)

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본 연구에서는 폴리이미드(Polyimide) 층이 코팅된 투명한 기판에 펨토초 펄스 레이저(Femtosecond Pulse Laser)를 조사하므로 생성되는 폴리머 기포(Polymer Blister)에 대한 메커니즘 분석 및 레이저 조건에 따른 폴리머 기포 생성경향성에 관한 연구를 수행하였다. 펨토초 펄스 레이저를 투명 기판 면으로 조사하면 투명 기판과 폴리이미드 층의 경계면에 광 에너지가 축적되어 강한 열 에너지가 생성되고 이 에너지가 팽창하는 고온 플라즈마를 발생시킨다. 이로 인해 투명 기판과 폴리이미드 층의 경계면 부근은 광화학(Photochemical) 반응을 일으켜 용융 및 기화되고, 폴리이미드 ... 전체 초록 보기

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