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저자정보
정현윤 (한국생산기술연구원) 고정범 (한국생산기술연구원)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.5
수록면
476 - 477 (2page)

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바이오센서, 유연센서 등으로 활용될 수 있는 IDT (Interdigital Transducer)센서 제작에 있어서 미세전극의 전기적 성능확보에 대한 관심도가 증가하는 추세다. 전극 제작 공정의 최적화 및 전기·기계적 성능 확보를 위해 소재, 패턴형성, 후처리 등 공정 별로 많은 연구가 진행되고 있다. 후처리 소결공정을 통해 미세전극의 전도도를 제어할 수 있지만 기존 열소결 공정으로는 열로 인한 기판의 손상 등으로 인해 정밀제어가 어려워 이를 해결하고자 IPL을 이용한 소결공정이 각광받고 있다. 본 논문에서는 열소결과 IPL (Intense Pulsed Light) 소결 공정을 통해 제작된 전극의 전도도비교를 통해 공정 최적화 연구를 진행하였다. 전극 샘플은 Silver Nanoparticle Paste (Silverjet 40LT-15)를 사용하여 미세패터닝 공정장비(DMP-2850)를 통해 제작 ... 전체 초록 보기
#Interdigital transducer #IDT sensor #Ink-jet printed #Intense pulsed light #Microelectrode

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미세전극 패터닝 기술을 이용한 바이오센서 패턴 구현
고정범 ,  김형찬 ,  양영진 외 5명 한국기계가공학회지 2016 .12
고점도 전도성 잉크 패터닝 기술을 이용한 고성능 미세전극 패턴 구현
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