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저자정보
B. Abdullah (전남대학교) A. B. Siddique (전남대학교) D.-W. Lee (전남대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.5
수록면
104 - 104 (1page)

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Micro-valves and micro-pumps are becoming more and more essential in microfluidics-based system because of their precise control and accuracy. As, the development has been made throughout the years and used for many industrial applications such as chemical engineering, chip, etc. These microsystems needed an actuation mechanisms for different driving sources like electricity, magnetism, gas, etc. This study proposes the design and fabrication of a micro pressure pumping system to generate small pressure using the electromagnetic actuation. This system features a single opening having only 10μm thin PDMS diaphra ... 전체 초록 보기
#Micro pressure pump #Electromagnetic actuation #Voice coil actuator #Diaphragm

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