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노현찬 (서울과학기술대학교) 이우승 (서울과학기술대학교) 김혜인 (서울과학기술대학교) 손현지 (서울과학기술대학교) 한인희 (서울과학기술대학교) 정은창 (서울과학기술대학교) 김민욱 (서울과학기술대학교) 옥종걸 (서울과학기술대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 마이크로/나노공학부문 2021년도 춘계학술대회
발행연도
2021.5
수록면
152 - 152 (1page)

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The blazed micro- and nanopatterns have recently been of increasing interest as functional diffraction gratings possessing low polarization dependent loss, and high rotational efficiency. Fabrication of the blazed grating patterns based on conventional nanopatterning protocols such as photolithography, nanoimprint lithography, or e-beam lithography, however, often demands a lot of time and cost. In that regard, we develop Z-axis-tilted Dynamic Nano-Inscribing (Z-DNI) technique which can continuously create the blazed micro- and nanopatterns by sliding a rigid tool edge mounted at a tilted angle over diverse flexible polymer substrates (e.g., polycarbonate, polyimide, PET, etc.). Z-DNI can readily tune the blazed angle, grating period, and proc ... 전체 초록 보기
#Nanopatterning(나노패터닝) #Axis-tilted nanoinscribing(틸트나노각인) #Blazed pattern(블레이즈 패턴) #Flexible substrate(유연기판) #Polymer deformation(소성 변형)

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