전기화학적 특성 개선을 위해 Pt 나노구조를 가지는 미세전극 제작

우현수; 김수현; 김강현; 윤승빈; 안태창; 김건휘; 임근배

doi:10.3795/KSME-B.2021.45.5.281

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자료유형: 학술저널

저자정보: 우현수 (포항공과대학교) 김수현 (포항공과대학교) 김강현 (포항공과대학교) 윤승빈 (포항공과대학교) 안태창 (안동대학교) 김건휘 (충북대학교) 임근배 (포항공과대학교)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 논문집 B권 대한기계학회논문집 B권 제45권 제5호(통권 제428호)

발행연도: 2021.5

수록면: 281 - 287 (7page)

DOI: 10.3795/KSME-B.2021.45.5.281

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공간해상도가 우수한 미세전극은 그 작은 크기로 인해 임피던스와 노이즈가 증가하는 한계가 있다. 따라서 고성능의 미세전극을 개발하기 위해서는 공간해상도와 임피던스 특성을 동시에 개선할 수 있는 표면처리 기술의 개발이 필요하다. 본 연구에서는 전기화학도금을 이용하여 미세전극 표면에 수십 nm 크기의 Pt 나노구조물을 제작하였다. Pt 나노구조로 표면개질된 미세전극은 개질하기 전의 미세전극과 비교하여 임피던스 수치가 평균 86% 감소하였다. 또한, CSC 측정과 EIS 분석, 임피던스 등가회로 모델링을 통해 Pt 나노구조를 가지는 미세전극의 개선된 전기화학적 특성을 확인하였다. 본 연구에서 제안한 표면개질 기술은 기존의 제작된 전극에도 적용 가능한 후처리 기술로 다양한 구조와 재료를 가진 미세전극에 적용할 수 있다.

#Surface Modification(표면개질) #Microelectrode(미세전극) #Pt Nanostructure(Pt 나노구조) #Electrochemical Deposition(전기화학 도금) #Electrochemical Surface Area(전기화학적 표면적)

참고문헌 (24)

참고문헌 신청

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