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장민수 (부산대학교) 박형규 (부산대학교) 권준형 (부산대학교) 김원근 (부산대학교) 이종민 (부산대학교) 오진우 (부산대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2021년 한국진공학회 제60회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2021.2
수록면
256 - 256 (1page)

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플라즈모닉 기반 환경 센서는 반도체 공정에 기반을 두고 있어 대량생산에는 유리하지만 목적에 따라 다양한 변화를 주기 어렵다. 하지만 환경 오염 요인은 날이 갈수록 다변화되고 있으며 목적에 따라 변화하는 공간적 위치 조건도 고려하여야 한다. 따라서 환경 오염 요인을 감지하는 환경 센서 또한 다양한 조건을 만족하 ... 전체 초록 보기
#환경 센서 #플라즈모닉 센서 #3D print

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