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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.2
- 수록면
- 45 - 45 (1page)
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현재 포항가속기연구소에서는 반도체 공정의 핵심장비인 극자외선 Extreme Ultra Violet(EUV) 마스크 검사 장비용 가속기(빔라인)를 구축하고 있다. EUV 노광용 스캐너는 네덜란드의 ASML사에서 공급하고 있지만, 마스크를 검사할 수 있는 장비는 아직 상용화되어 있지 않다. 방사광가속기를 사용하면 임의의 파장에 ... 전체 초록 보기
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