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허선일 (성균관대학교) 선호중 (성균관대학교) 이준권 (성균관대학교) 이원영 (성균관대학교) 박문수 (성균관대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 논문집 B권 대한기계학회논문집 B권 제45권 제3호(통권 제426호)
발행연도
2021.3
수록면
173 - 179 (7page)
DOI
10.3795/KSME-B.2021.45.3.173

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본 논문은 마이크로웨이브 플라즈마를 이용한 나노입자 합성에서 유량 변화가 플라즈마 특성 변화에 미치는 영향을 파악하기 위해 He-CH₄ 혼합가스에서 생성한 마이크로웨이브 플라즈마에 대해 유량을 변경해가며 플라즈마 내 가스 온도와 전자 밀도 측정을 진행하였다. 마이크로웨이브 플라즈마를 이용한 종래의 카본 나노입자 합성 연구에서는 유량 변화에 따른 생성된 나노입자 특성 변화는 보고하였으나, 플라즈마 공정 변화에 대해서는 연구하지 않았다. 총 유량이 40 slpm에서 80 slpm으로 변화함에 따라, 플라즈마의 온도는 3,678±100K에서 3,122±100K로 변화하였고 전자 밀도는 (1.05±0.3)×10<SUP>13</SUP> ㎝<SUP>-3</SUP>에서 (1.33±0.3)×10<SUP>13</SUP> ㎝<SUP>-3</SUP>으로 변화하였다. 유량 변화와 관계없이 플라즈마의 특성(플라즈마 온도와 전자 밀도) 은 크게 변하지 않았는데, 이는 플라즈마 영역을 통과하는 유량이 플라즈마 부피가 감소함에 따라 상대적으로 동일하게 유지되었음을 보여준다.

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
참고문헌(References)

참고문헌 (10)

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