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자료유형
학술저널
저자정보
김광열 (부산대학교, 하이브리드소재 솔루션 국가핵심 연구센터)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제17권 제7호
발행연도
2007.1
수록면
352 - 357 (6page)

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Since a pattern defects "repair" system using a diode pumped solid state laser for Flat Panel Display (FPD) was suggested, a lot of laser systems have been explored and developed for mass-production microfabrication process. A maskless lithography system using 405 nm violet laser and Digital Micromirror Device (DMD) has been developed for PDP and Liquid Crystal Display (LCD) Thin Film Transistor (TFT) photolithography process. In addition, a "Laser Direct Patterning" system for Indium Tin Oxide (ITO) for Plasma Display Panel(PDP) has been evaluated one of the best successful examples for laser application system which is applied for mass-production lines. The "heat" and "solvent" free laser microfabrications process will be widely used because the next-generation flat panel displays, Flexible Display and Organic Light Emitting Diode (OLED) should use plastic substrates and organic materials which are very difficult to process using traditional fabrication methods.
#Laser Direct Patterning #Maskless Lithography #Digital Micromirror Device #DMD) #Flat Panel Display

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