메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류

추천
검색

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
Lee, Seung-Jun (LCD R&D Center, Samsung Electronics Co., Ltd.) Park, Dae-Jin (LCD R&D Center, Samsung Electronics Co., Ltd.) Bae, Joo-Han (LCD R&D Center, Samsung Electronics Co., Ltd.) Lee, Sung-Hee (LCD R&D Center, Samsung Electronics Co., Ltd.) Kim, Jang-Kyum (LCD R&D Center, Samsung Electronics Co., Ltd.) Kim, Kyu-Young (LCD R&D Center, Samsung Electronics Co., Ltd.) Bae, Jung-Mok (Samsung Advanced Institute of Technology, Samsung Electronics Co., Ltd.) Kim, Bo-Sung (LCD R&D Center, Samsung Electronics Co., Ltd.) Kim, Soon-Kwon (LCD R&D Center, Samsung Electronics Co., Ltd.) Lee, Su-Kwon (Mechatronics & Manufacturing Technology Center, Samsung Electronics Co., Ltd.) Kwon, Sin (Mechatronics & Manufacturing Technology Center, Samsung Electronics Co., Ltd.) Seo, Jung-Woo (Mechatronics & Manufacturing Technology Center, Samsung Electronics Co., Ltd.) Kim, Ki-Hyun (Mechatronics & Manufacturing Technology Center, Samsung Electronics Co., Ltd.) Cho, Jung-Wok (Mechatronics & Manufacturing Technology Center, Samsung Electronics Co., Ltd.) Chang, Jae-Hyuk (LCD R&D Center, Samsung Electronics Co., Ltd.)
저널정보
한국정보디스플레이학회 Journal of information display Journal of information display 제11권 제2호
발행연도
2010.1
수록면
49 - 51 (3page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색

초록· 키워드

오류제보하기
Nanoimprint lithography (NIL) using ultraviolet (UV) rays is a technique in which unconventional lithographic patterns are formed on a substrate by curing a suitable liquid resist in contact with a transparent patterned mold, then releasing the freshly patterned material. Here, various solutions are introduced to achieve sufficient overlay accuracy and to overcome the technical challenges in resist patterning via UV imprinting. Moreover, resist patterning of all the layers in TFT and of the BM layer in CF was carried out using UV imprinting lithography to come up with a 12.1-inch TFT-LCD panel with a resolution of $1280{\times}800$ lines (125 ppi).

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (0)

참고문헌 신청

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0