Design of a smart MEMS accelerometer using nonlinear control principles

Hassani, Faezeh Arab; Payam, Amir Farrokh; Fathipour, Morteza

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자료유형: 학술저널

저자정보: Hassani, Faezeh Arab (Device Simulation and Modeling Laboratory, Faculty of Electrical and Computer Engineering, Campus #2, University of Tehran) Payam, Amir Farrokh (Device Simulation and Modeling Laboratory, Faculty of Electrical and Computer Engineering, Campus #2, University of Tehran) Fathipour, Morteza (Device Simulation and Modeling Laboratory, Faculty of Electrical and Computer Engineering, Campus #2, University of Tehran)

저널정보: 테크노프레스 Smart structures and systems Smart structures and systems 제6권 제1호

발행연도: 2010.1

수록면: 1 - 16 (16page)

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This paper presents a novel smart MEMS accelerometer which employs a hybrid control algorithm and an estimator. This scheme is realized by adding a sliding-mode controller to a conventional PID closed loop system to achieve higher stability and higher dynamic range and to prevent pull-in phenomena by preventing finger displacement from passing a maximum preset value as well as adding an adaptive nonlinear observer to a conventional PID closed loop system. This estimator is used for online estimation of the parameter variations for MEMS accelerometers and gives the capability of self testing to the system. The analysis of convergence and resolution show that while the proposed control scheme satisfies these criteria it also keeps resolution performance better than what is normally obtained in conventional PID controllers. The performance of the proposed hybrid controller investigated here is validated by computer simulation.

#Micro Electromechanical Systems #MEMS) #pull-in phenomena #PID closed loop system #sliding-mode controller #adaptive nonlinear observer

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Hassani, Faezeh Arab

소속기관 Device Simulation and Modeling Laboratory, Faculty of Electrical and Computer Engineering, Campus #2

주요연구분야 공학 > 건축공학 > 토목공학

논문수 1 이용수 3

Payam, Amir Farrokh

소속기관 Device Simulation and Modeling Laboratory, Faculty of Electrical and Computer Engineering, Campus #2

주요연구분야 공학 > 건축공학 > 토목공학 공학 > 기타공학 > 기타 공학

논문수 2 이용수 5

Fathipour, Morteza

소속기관 Device Simulation and Modeling Laboratory, Faculty of Electrical and Computer Engineering, Campus #2

주요연구분야 공학 > 건축공학 > 토목공학 공학 > 기타공학 > 기타 공학

논문수 2 이용수 5

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