LTP 퍼니스의 내부 유동 및 온도 균일도 최적화를 위한 실천공학교육적 문제해결

김진우; 윤기만; 조은정

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김진우 (한국폴리텍대) 윤기만 (한국폴리텍대학) 조은정 (KoreaTech 메카트로닉스)

저널정보: 한국실천공학교육학회 실천공학교육논문지 실천공학교육논문지 제10권 제2호

발행연도: 2018.1

수록면: 125 - 129 (5page)

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이 논문은 LTP 퍼니스의 최적화 된 내부 유동과 온도의 균일성에 대한 수치 해석에 관한 것이다. 반도체 제조 공정에서 실리콘 웨이퍼를 어닐링하기 위한 기능을 수행한다. 특히 챔버 내부의 최고 온도를 약 $400^{\circ}C$의 고온으로 유지하여 웨이퍼를 보강한다. 공정이 고온에서 완료되면 열 교환기를 통해 온도를 낮추고 이를 수행하기 위한 작업이 반복된다. 이 논문에서 최종적인 목표는 LTPS 퍼니스의 유동 해석을 통해 챔버의 단열 공급과 배기 구조의 최적 설계를 도출하는 것과 교육과정 개발을 위한 사례 발굴에 있다.

#CAE #Numerical analysis #Furnace #Temperature

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H. Jin / 2008 / Numerical analysis of the liquid flow in the lower part of a blast furnace during change of cohesive zone / Proceeding of the 37th Symposium of the KOSCOS :80~87

A. J. Engel / 1994 / Furnace slide gate system and refractories - electric furnace slag free tapping / Proceeding of 52nd Electric Furnace Conference :235~239

A. J. Lockwood / CD-adapco Releases STAR-CCM+v10.02

장유진 / 2007 / An Estimation of a Billet Temperature during Reheating Furnace Operation / International Journal of Control, Automation, and Systems 5(1):43~50

J. D. Faires / 2003 / Numerical methods / INTER VISION

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