태양전지 실리콘 웨이퍼를 위한 실험계획법 기반 근적외선 광학계의 최적조건 선정

서형준; 김경범

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자료유형: 학술저널

저자정보: 서형준 (한국교통대학교 대학원) 김경범 (한국교통대학교 항공기계설계학과)

저널정보: 한국반도체디스플레이기술학회 반도체디스플레이기술학회지 반도체디스플레이기술학회지 제12권 제3호

발행연도: 2013.1

수록면: 29 - 34 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (7)

2015

실리콘 웨이퍼의 마이크로 크랙을 위한 근적외선 영상 기반 지능현 분류에 관한 연구

서형준 항공.기계설계학과 메카트로닉스 전공 2015.01 학위논문

2014

실리콘 웨이퍼 근적외선 영상 특징 기반 결함 분류에 관한 연구

서형준 , 김경범 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2014.10 학술대회자료

실리콘 웨이퍼의 크랙 검출을 위한 실험계획법 기반 비등방성 확산 필터의 최적조건 선정

서형준 , 김경범 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2014.05 학술대회자료

실리콘 웨이퍼의 마이크로 크랙 형태와 근적외선 영상패턴과의 상관관계 분석

서형준 , 김경범 , 김상연 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2014.05 학술대회자료

비등방 확산 필터의 최적조건 선정을 통한 태양전지 실리콘 웨이퍼의 마이크로 크랙 검출

서형준 , 김경범 반도체디스플레이기술학회지 2014.01 학술저널

2013

실리콘웨이퍼를위한근적외선검사조명계설계 및 최적조건선정

서형준 , 김경범 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2013.05 학술대회자료

태양전지 실리콘 웨이퍼를 위한 실험계획법 기반 근적외선 광학계의 최적조건 선정

서형준 , 김경범 반도체디스플레이기술학회지 2013.01 학술저널

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Solar cell has been considered as renewable green energy. Its silicon wafer thickness is thinner due to manufacturing cost and accordingly micro cracks is often generated in the process. Micro cracks result in bad quality of solar cell, and so their accurate and reliable detection is required. In this paper, near-infrared optics system is newly designed based on the analysis of near-infrared transmittance characteristics and its important parameters are optimally selected using the design of experiment for micro crack detection in solar cell wafer. The performance of the proposed method is verified using several experiments.

#Defect detection #Design of experiment #Micro crack #Near infrared optics #Silicon wafer #Solar cell

참고문헌 (5)

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김경범 / 2012 / 광학스캐닝 메커니즘 및 근적외선 카메라 광학계를 이용한 태양전지 웨이퍼 검사장치 개발 / 반도체디스플레이기술학회지 11(3):1~6

Tzu-Kuei Wen / 2012 / Crack Detection in Photovoltaic Cells by Interferometric Analysis of Electronic Speckle Patterns / Solar Energy Materials & Solar Cells 98:216~223

W Dallas / 2007 / Resonance Ultrasonic Vibrations for Crack Detection in Photovoltaic Silicon Wafers / Measurement Science and Technology 18:852~858

O. Breitenstein / 2007 / Lock-in IR Thermography for Functional Testing of Electronic Devices / Quantitative Infrared Thermography 7:852~858

최영규 / 2010 / 제지공정의 실시간 결함 검출을 위한 영상 기반 웹 검사 시스템 / 반도체디스플레이기술학회지 9(2):79~85

이 논문의 저자 정보

서형준

소속기관 한국교통대학교 대학원

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 2 이용수 4

김경범

소속기관 한국교통대학교 기계자동차항공공학부

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 11 이용수 27

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