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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2012.1
- 수록면
- 1 - 6 (6page)
이용수
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In this paper, inspection system based on optical scanning mechanism is designed and developed for solar cell wafer. It consists of optical scanning mechanism, NIR camera optics, machinery and control system, algorithm of defect detection and software. Optical scanning mechanism is composed of geometrical camera optics and structured hybrid illumination system. It is used to inspection of surface defects. NIR camera optics is used for inspection of defects inside solar cell wafer. It is shown that surface and internal micro defects can be detected in developed inspection system for solar cell wafer.
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K. J. / 2010 / 2010 New & Renewable Energy / KEMCO
연정승 / 2011 / 태양전지 실리콘 웨이퍼에서의 레일리기준 기반 레이저산란 패턴 분석 및 결함 검출 / 한국정밀공학회지 28(5):606~613
Li, W. C / 2011 / Automatic Saw-mark Detection in Multi-crystalline Solar Wafer Images / Solar Energy Materials & Solar cells
Byelyayev,A / 2005 / Stress Diagnostics and Crack Detection in Full-Size Silicon Wafers using Resonance Ultrasonic Vibrations
김경범 / 2006 / 깊이 불연속 형상 측정을 위한 레이저 응용 하이브리드 초점법 / 한국정밀공학회지 23(9):111~118
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김경범 / 2006 / 깊이 불연속 형상 측정을 위한 레이저 응용 하이브리드 초점법 / 한국정밀공학회지 23(9):111~118
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