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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.23 No.9
발행연도
2006.9
수록면
111 - 118 (8page)

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A hybrid focus method with multiple laser slits is newly proposed for the measurement of surface morphology with depth discontinuity, and it is based on the integration of DFD and DFF. Rough depth information is estimated through calibration tables which are constructed by DFD with multiple laser slits, and then DFF is applied to only each specific depth range using the rough depth information resulting from DFD. The proposed hybrid method gives more accurate results than DFD and DFF, and faster measurement than DFF in the vicinity of depth discontinuity. Its performance is verified through experiments of calibration blocks with sharp depth discontinuity.
#DFD(비초점법) #DFF(초점법) #Focus measure(초점정도) #Laser-applied hybrid focus method(레이저 응용 하이브리드 초점법) #Multiple laser slits(다중 레이저 슬릿)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 광학계의 기본 이론
3. 레이저 응용 하이브리드 초점법
4. 실험
5. 결론
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