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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
임태호 (숭실대학교 화학공학과) 김재정 (서울대학교 화학공정신기술연구소)
저널정보
한국화학공학회 화학공학 화학공학 제56권 제6호
발행연도
2018.1
수록면
895 - 900 (6page)

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본 연구에서는 Co-B, Co-W-B 합금 박막 형성을 위한 무전해 전착법을 고안하고, 이를 통해 형성한 합금 박막의 B과 W의 함량이 박막의 경도에 미치는 영향을 살펴보았다. 무전해 전착을 통해 무정형 상태의 Co 합금 박막을 성공적으로 형성할 수 있었으며, 환원제인 dimethylamine borane과 W의 원료인 sodium tungstate dihydrate의 농도를 조절함으로써 Co 합금 박막 내 혼합되는 B과 W의 함량을 조절하였다. 이를 통해 Co 합금 박막 내 전위(dislocation)의 전파(propagation)를 억제하는 B과 W의 함량이 증가할수록 박막의 경도가 증가함을 확인할 수 있었다. 뿐만 아니라, 무전해 전착 시 포기(aeration)를 수행하지 않을 경우에 포기를 수행한 경우보다 Co 합금 박막 내 B과 W의 함량을 대폭 증가시킬 수 있었고 최종적으로 Co-W-B 합금 박막의 경도를 8.9 (${\pm}0.3$) GPa까지 향상시켰다.
#Electroless #Cobalt #Hardness #Boron #Tungsten

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