고온 플라즈마를 이용한 과불화화합물의 처리 특성 연구

문기학; 김재용

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자료유형: 학술저널

저자정보: 문기학 (충북대학교 환경공학과) 김재용 (충북대학교 환경공학과)

저널정보: 한국공업화학회 공업화학 공업화학 제30권 제1호

발행연도: 2019.1

수록면: 108 - 113 (6page)

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본 연구에서는 반도체 제조 공정에서 발생되는 과불화화합물을 고온 플라즈마를 활용하여 분해하고자 하였고, 분해 특성을 조사하였다. 실험에 사용된 PFCs 가스는 200 L/min의 유량에 농도 5,000 ppm으로 주입하였다. 인입 전력에 따른 분해 효율 분석 결과 $CF_4$ 및 $SF_6$ 모두 12.8 kW의 전력에서 최고 효율을 나타내었고 그 이상의 전력에서는 큰 차이를 나타내지 않았다. PFCs의 재결합 방지를 위한 반응수 주입 실험 결과 약 14 mL/min의 유량에서 최고 효율을 나타내었으며 14 mL/min을 기준으로 유량이 증가하거나 감소함에 따라 모두 처리효율이 감소하였다. 연구 결과 고온 플라즈마를 활용한 PFCs의 분해 특성을 파악할 수 있었고 또한 반도체 제조 공정에서 발생하는 PFCs 및 온실가스에 처리에 대한 기초를 마련하였다.

#Perflurocompounds #Greenhouse gas #High temperature plasma #Semiconductor

참고문헌 (11)

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B. Innocent / 2009 / Electro-Reduction of Carbon Dioxide to Formate on Lead Electrode in Aqueous Medium / Journal of Applied Electrochemistry 39(2):227~332

박시원 / 2016 / 파리협정과 Post-2020 신기후체제의 서막 - 유엔기후변화협약 파리총회의 주요 쟁점과 합의 결과를 중심으로 - / 환경법과 정책 16:285~322

J. H. Kim / 2018 / Study on the Decomposition Treatment of Semiconductor Waste Gas (CF4) Using Plasma Torch

S. J. You / 2008 / GHG Emission Status, Forecast and Reduction Potential / Proceedings of Green Growth : Seeking National Growth Strategy

N. K. Hong / 2017 / The Second biennial update report of the Republic of Korea : under the united nations framework convention on climate change 1 :23~24

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