응집제와 관형막을 활용한 CMP 폐수 처리 가능성 연구

정호찬; 정철중; 송자연; 김연국; 이선용

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자료유형: 학술저널

저자정보: 정호찬 (웅진코웨이 환경기술연구소 환경기술연구팀) 정철중 (웅진코웨이 환경기술연구소 환경기술연구팀) 송자연 (웅진코웨이 환경기술연구소 환경기술연구팀) 김연국 (웅진코웨이 환경기술연구소 환경기술연구팀) 이선용 (웅진코웨이 환경기술연구소 환경기술연구팀)

저널정보: 한국물환경학회 한국물환경학회지 한국물환경학회지 제28권 제5호

발행연도: 2012.1

수록면: 639 - 645 (7page)

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The purpose of this study is to identify the possibility of the CMP wastewater treatment from semiconductor fabrication under operating tubular membrane with coagulants. To find suitable coagulants treating CMP wastewater, we conducted Jar-test. After Jar-test experiments suitable coagulants are PAC(17%), $Ca(OH)_2$ and optimum coagulant dosage is PAC(17%) 10mg/L, $Ca(OH)_2$ 110 ~ 120mg/L. Based on these results, the tubular membrane was applied to CMP wastewater, the turbidity removal efficiency is $Ca(OH)_2$ > PAC(17%) > Nothing. The fast cross-flow velocity and backwash process what are operating characteristics of tubular membrane can be stable CMP wastewater treatment. But when the coagulant and tubular membrane are used at the same time, the withdraw and treatment of the CMP wastewater are possibile. However further treatment process needs if treated water will be used for semiconductor fabrications.

#CMP wastewater #Coagulant #Semiconductor wastewater #Tubular membrane #Wastewater treatment

참고문헌 (16)

참고문헌 신청

안명기 / 2010 / Fluidized Bed Reactor를 이용한 반도체 폐수의 불소 처리 / 대한환경공학회지 32(5):437~442

안명기 / 2009 / 반도체 폐수의 불화칼슘 결정화 / 한국폐기물자원순환학회지 26(5):456~466

안명기 / 2010 / 유동상 반응기를 이용한 반도체 폐수 내 불소 처리 시 CaF2 주입량, pH 및 처리수 재순환의 영향 / 대한환경공학회지 32(6):593~598

안명기 / 2009 / Struvite 결정화를 이용한 반도체 폐수처리 시 불소제거를 위한 최적 조건 / 한국물환경학회지 25(6):916~921

지은상 / 1991 / 산업폐수에 관형막 분리응용 / 한국막학회 1991년도 추계 총회 및 학술발표회 2:58~63