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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
박명준 ([주]코렉스) 이호경 ([주]코렉스) 구기갑 (서강대학교 화공생명공학과) 강경석 (시온텍 기술연구소) 한혜정 (시온텍 기술연구소)
저널정보
한국자원리싸이클링학회 자원리싸이클링 자원리싸이클링 제18권 제1호
발행연도
2009.1
수록면
58 - 67 (10page)

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국내 포토레지스트 스트리퍼의 연간 소요량은 약 1000억원 규모(50, 000톤)로 대부분 전량 수입에 의존하고 있으나, 폐스트리퍼에는 각종 불순물이 함유되어 있어, 소각 또는 낮은 수준으로 재활용되어 오는데 그치고 있다. 최근 경제적 측면과 효율성 측면에서 스트리퍼 폐액의 재활용 기술이 폭넓게 연구되고 있다. 본 논문에서는 스트리퍼 폐액의 재활용에 관한 특허 기술을 분석하였다. 분석범위는 2007 9월까지 미국, 유럽연합, 일본과 한국에서 출원 및 공개된 특허로 제한하였다. 특허들은 전체적으로 검색어를 사용하여 수집되었고, 기준 기술 이외의 것을 여과하였다. 특허기술의 경향은 년도와 국가별, 기업 및 관련기술 분야별로 분석되었다.
#스트리퍼폐액 #재활용 #특허 #분석 #기술동향

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