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자료유형
학술저널
저자정보
손예진 (부산대학교 나노융합기술학과) 최지연 (한국기계연구원 광응용기계연구실) 김태규 (부산대학교 나노메카트로닉스공학과)
저널정보
한국열처리공학회 열처리공학회지 열처리공학회지 제32권 제4호
발행연도
2019.1
수록면
155 - 160 (6page)

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Diamond Like Carbon (DLC) is a metastable form of amorphous carbon that have superior material properties such as high mechanical hardness, chemical inertness, abrasion resistance, and biocompatibility. Furthermore, its material properties can be tuned by additional doping such as nitrogen or boron. However, either pure DLC or doped DLC show poor adhesion property that makes it difficult to apply contact processing technique. Therefore we propose ultrafast laser micromachining which is non-contact precision process without mechanical degradation. In this study, we developed precision machining process of DLC thin film using an ultrafast laser by investigating the process window in terms of laser fluence and laser wavelength. We have also demonstrated various patterns on the film without generating any microcracks and debris.
#보론 도핑 DLC #극초단 레이저 가공

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