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자료유형
학술저널
저자정보
박수대 (충북대학교 공과대학 신소재공학과) 백창현 (충북대학교 공과대학 신소재공학과) 홍주화 (충북대학교 공과대학 신소재공학과)
저널정보
한국열처리공학회 열처리공학회지 열처리공학회지 제21권 제1호
발행연도
2008.1
수록면
26 - 32 (7page)

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Effects of annealing treatment on microstructure and mechanical property of co-sputtered TiNi thin films were studied. As-deposited films showed amorphous state. However, above annealing temperature of $500^{\circ}C$ martensite phase (B19'), precipitate phase ($Ti_2Ni$) and a small amount of parent phase ($B_2$) were present, and phase transformation behaviors were three multi-step phase transformations $B19^{\prime}{\rightarrow}B_2$ and $B_2{\rightarrow}R-phase$ and $R-phase{\rightarrow}B19^{\prime}$. Increase of martensite transformation temperature, increase of microhardness and Young's modulus of TiNi films annealed above $500^{\circ}C$ were discussed in terms of precipitate phase.
#TiNi Thin Film #Crystallization #Martensite Transformation Temperature #Nano-indentation

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