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학술저널
저자정보
장세훈 (한국생산기술연구원 광주연구센터) 최정철 (한국생산기술연구원 광주연구센터) 최세원 (한국생산기술연구원 광주연구센터) 오익현 (한국생산기술연구원 광주연구센터)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제18권 제4호
발행연도
2008.1
수록면
181 - 186 (6page)

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In this study, tantalum (Ta) compacts were fabricated in a spark plasma sintering (SPS) process and their microstructure and mechanical properties were investigated. Ta compacts with a density of 99% were successfully fabricated by controlling the sintering conditions of the current and the temperature. The density and hardness were increased as the sintering temperature increased. The $Ta_2C$ compound was observed at the surface of the compacts due to the contact between the Ta powder and graphite mold during the sintering process. The main fracture mode showed a mixed type with intergranular and transgranular modes having some roughness.
#spark plasma sintering #tantalum #sputtering target

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J. S. Yoon / 2007 / J.Power.Sour 164:959~963 google schola M. Bischof / 2006 / Int.J.Ref.Metals & Hard. Mater 24:437~444 google schola P. Angerer / 2007 / Int.J.Ref.Metals & Hard. Mater 25:280~285 google schola M. Yue / 2003 / J.Magn.Magn.Mater 271:364~368 google schola J. X. Zhang / 2004 / Mater.Lett 58:1981~1984 google schola

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