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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
Yang, Bee Lyong (Memory R & D Division, Hynix Semiconductor Inc.)
저널정보
한국열처리공학회 열처리공학회지 열처리공학회지 제15권 제3호
발행연도
2002.1
수록면
113 - 117 (5page)

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Fatigue characteristics of ferroelectric $Pb(Zr,Ti)O_3$ (PZT) based capacitors through donor doping is reported in this paper. La substitution up to 10% were carried out to study systematically the fatigue behaviors of epitaxial ferroelectric capacitors grown on Si using $(Ti_{0.9}Al_{0.1})N/Pt$ conducting barrier composite. Ferroelectric capacitors substituted with 10% La show sufficient low voltage switched polarization and fatigue free performance. Systematic decrease in the tetragonality of the ferroelectric phase (i.e., c/a ratio) results in the corresponding reduction in coercive voltage, sufficient remnant polarization at 1.5-3V, and good fatigue property.

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