Preparation of the Polymers Containing Phenylamide and Dimethylaminoethyl Groups and their Properties as a Nagative Photoresist

Chae, Kyu-Ho; Kang, Jin-Koo; Kim, Su-Kyung; Chough, Sung-Hyo

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자료유형: 학술저널

저자정보: Chae, Kyu-Ho (Department of Applied Chemistry Chonnam National University) Kang, Jin-Koo (Department of Applied Chemistry Chonnam National University) Kim, Su-Kyung (Department of Applied Chemistry Chonnam National University) Chough, Sung-Hyo (Department of Chemicl Engineering, and The Polymer Science&technology Center)

저널정보: 한국광과학회 Journal of photoscience : an international journal officail organ of the korean society of photoscience Journal of photoscience : an international journal officail organ of the korean society of photoscience 제7권 제2호

발행연도: 2000.1

수록면: 47 - 52 (6page)

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The copolymmers of N, N-dimethylaminoethyl methacrylate(DAEM) and N-arylmethacrylamide (AMA) were prepared, and their photochemical properties as a negative photoresist were studied by the measurements of insoluble fraction, and by UV and IR absorption spectral changes. These copolymers are soluble in DMF, actone, methanol, of acidic buffer solutions. Solubility of these copolymer films in the vuffer solutions increased with the amount of DAEM units in the copolymer and decreased with the pH value. The insoluble fraction of the copolymer films in the buffer solution of pH 4 of in methanol increased with irradiation time and the amount of AMA units in the copolymer. UV and IR spectral changes indicated that not only photo-crosslinking but also the photo-Fries rearrangement took place upon irradiation with a 254nm UV light.

#photoresist #photo-crosslinking #photosensitive polymer #phenyl amide #photo-Rries rearrangement

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이 논문의 저자 정보

Chae, Kyu-Ho

소속기관 Department of Applied Chemistry, Chonnam National University, Gwangju, Korea, 500-757

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 6 이용수 0

Kang, Jin-Koo

소속기관 Department of Applied Chemistry Chonnam National University

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Kim, Su-Kyung

소속기관 Department of Applied Chemistry Chonnam National University

주요연구분야 자연과학 > 물리학

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Chough, Sung-Hyo

소속기관 Department of Chemicl Engineering, and The Polymer Science&technology Center

주요연구분야 자연과학 > 물리학

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