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학술대회자료
저자정보
Lee, Heon (Dept. Mater. Sci. & Eng, Korea Univ.) Lee, Jong-Hwa (Dept. Mater. Sci. & Eng, Korea Univ.)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2007년도 7th International Meeting on Information Display 제7권2호
발행연도
2007.1
수록면
1,119 - 1,120 (2page)

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Nano-sized metal patterns were successfully fabricated on flexible PET substrate using nanoimprint lithography. 70nm line and space PMMA resist pattern was formed on PET substrate without residual layer by 'artial filling effect' and 20nm thin Cr metal layer was deposited by e-beam evaporation. Then, PMMA resist was selectively removed by acetone and 70nm narrow Cr pattern was formed.

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