A Roll-to-Roll Process for Manufacturing Flexible Active-Matrix Backplanes Using Self-Aligned Imprint Lithography and Plasma Processing

Taussig, Carl; Jeffrey, Frank

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Taussig, Carl (Hewlett Packard Laboratories) Jeffrey, Frank (Iowa Thin Film Technologies)

저널정보: 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2005년도 International Meeting on Information Displayvol.I

발행연도: 2005.1

수록면: 808 - 810 (3page)

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Inexpensive large area arrays of thin film transistors (TFTs) on flexible substrates will enable many new display products that cannot be cost effectively manufactured by conventional means. This paper presents a new approach for low cost manufacturing of electronic devices using roll-to-roll (R2R) processes exclusively. It was developed in partnership by Hewlett Packard Laboratories and Iowa Thin Film Technologies (ITFT), a solar cell manufacturer. The approach combines ITFT's unique processes for vacuum deposition and etching of semiconductors, dielectrics and metals on continuous plastic webs with a method HP has invented for the patterning and aligning the multiple layers of a TFT with sub-micron accuracy and feature size.

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Taussig, Carl

소속기관 Hewlett-Packard Company

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 4 이용수 4

Jeffrey, Frank

소속기관 Power Film Inc.

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

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