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Nobari, Ali Reza (Holtronic Technologies) Mourgue, Stephane (Holtronic Technologies) Clube, Francis (Holtronic Technologies) Jorda, Mathieu (Holtronic Technologies) Iriguchi, Chiharu (Technology Platform Research Center) Inoue, Satoshi (Technology Platform Research Center) Grass, Elmar (Microfab AG, Schaanwald) Mayer, Herbert (Microfab AG, Schaanwald)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2005년도 International Meeting on Information Displayvol.I
발행연도
2005.1
수록면
676 - 678 (3page)

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Future Mobile displays and the emerging systems on Glass for the upcoming TFT_LCDs or Active-OLEDs based on LTPS, and the exciting c-Si critically require very-high resolution lithography. We report the methodology and latest results on the alignment, magnification control and stitching systems on a HMA500 holographic mask aligner for printing $0.5{\mu}m-resolution$ display patterns onto glass substrates of dimensions up to $500mm{\times}400mm$.

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