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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제20권 제5호
발행연도
2011.1
수록면
336 - 342 (7page)

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Recently, the LCD manufacturing industries try to maximize the productivity of LCD panels due to sharp increase in the market need of LCD display. Usually, the increase in manufacturing speed induces additional vibration of glasses and manufacturing machineries. This kind of vibration can induce bad effects on the manufacturing accuracy, and even can damage the glasses. The vibration signal of glass itself is very useful to predict the allowable maximum level of manufacturing speed. Therefore, it is necessary to measure the vibration of the glass itself and a very thin vibration measurement system attachable on the glass is needed. Since in some processes the glasses need to go through very thin gaps such as 2.5mm, We develop a glass vibration measurement system with the thickness of 1.3mm. The system measures the glass vibration using MEMS type accelerometers and store vibration data in a Nand-Flash memory. The performance of the develop system has been verified on a real LCD manufacturing line and the accuracy of vibration measurement is comparable with that of an accurate commercial vibration measurement system.
#MEMS Accelerometer #LCD Manufacturing #Vibration Measurement #Glass Vibration

목차

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Freescale Semiconductor Inc / 2010 / MMA7331L data sheet / Freescale Semiconductor Inc google schola James H. McClellan / 1998 / DSP FIRST : A multimedia Approach / Prentice-Hall Inc google schola Khoon Peng Lim / 2010 / Real-time detection of wafer shift/slide in a chamber / United States Patent 7,750,819 B2 google schola Microchip Technology Inc / 2009 / dsPIC33FJ128GP206A data sheet / Microchip Technology Inc google schola Texas Instruments Inc / 2008 / CC2400 data sheet / Texas Instruments Inc google schola

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