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자료유형
학술대회자료
저자정보
Ekberg, Peter (Micronic Laser Systems AB, Box 3141) Sjostrom, Fredrik (Micronic Laser Systems AB, Box 3141) Stiblert, Lars (Micronic Laser Systems AB, Molndalsvagen 91)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2005년도 International Meeting on Information Displayvol.I
발행연도
2005.1
수록면
598 - 601 (4page)

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Z-correction is new method to be used when measuring pattern registration of photomasks. The method is based on measurement of the plate profile in the Zaxis and takes into account the impact on the registration deviations caused by plate support, contamination as well as the photomask flatness itself. Z-correction further facilitates a more neutral way of judging the overlay properties between individual photomasks within a mask set.

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