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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김성영 (생산기술연구원 생산시스템 개발센타) 고명완 (생산기술연구원 생산시스템 개발센타) 이재성 (한양대학교 금속재료공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제4권 제5호
발행연도
1994.1
수록면
566 - 573 (8page)

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연소화염법을 이용한 다이아몬드 박막합성시 기판표면온도 및 온도분포에 가장 크게 작용하는 공정변수는 탄화수소량을 결정하는 산소/아세틸렌 가스의 혼합비(R=O<SUB>2</SUB>C<SUB>2</SUB>H<SUB>2</SUB>)이다. 본 연구에서는 혼합가스비율 변화 (R=0.87-0.98)에 따른 기판표면온도 및 온도분포를 측정하고, 이들 변수에 따른 다이아몬드 박막의 생성 및 결정형상의 변화과정을 SEM관찰, Raman 분광분석 및 X-선 회절 분석을 통해 조사하였다. 혼합가스비율의 증가에 따라 다이아몬드의 생성입자 수밀도는 감소하였고, 이와 동시에 결정형상도 (111)면과 (100)면이 혼재된 cobo octahedron형에서 octahedron인 (111)면으로 변화되었다. 한편, 기판온도증가에 따라 생성입자의 수밀도가 증가하고 성장속도도 빨라져 조대한 결정을 얻었으며, 생성된 입자형성은 (111)면애 지배적이다가 (100)결정면이 점차 많아지는 양상을 나타내었다.

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