Pd활성제와 열처리 온도에 의한 ${SnO_2}/{Al_2}{O_3}$ 가스센서에 미치는 감응효과

전춘생

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자료유형: 학술저널

저자정보: 전춘생 (인하대학교 전기공학과)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제4권 제3호

발행연도: 1994.1

수록면: 295 - 300 (6page)

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이 논문은 $SnO_2$에 소량의 Pd를 첨가하여 이것을 $Al_2O_3$기판위에 진공증착시켜 가스소자를 제작한 후, 소자의 감지특성에 영향을 미치는 열처리 온도, 소자의 온도, Pd의 첨가량의 변화 효과를 조사한 것이다. 소자의 열처리 온도가 $550^{\circ}C$일때와 소자의 동작온도가 $350^{\circ}C$일때 ethanol gas에 접촉시 소자 저항이 가장 낮았다. Pd 1 wt%를 첨가한 경우 에탄올 가스에 대한 소자의 감지특성이 가장 양호하였으며, 저농도 영역에서 특히 우수하였다.

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논문수 3 이용수 35

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