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학술저널
저자정보
박정식 (전북대학교 공과대학 화학공학과) 조익준 (전북대학교 공과대학 화학공학과) 김춘영 (전북대학교 공과대학 화학공학과) 이희균 (한국원자력연구소 초전도체연구실) 원동연 (한국원자력연구소 초전도체연구실) 신형식 (전북대학교 공과대학 화학공학과)
저널정보
한국공업화학회 공업화학 공업화학 제3권 제3호
발행연도
1992.1
수록면
412 - 421 (10page)

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단결정 기판위에 증착된 고온 초전도 박막은 microelectronic 장치의 실제적인 응용을 위한 가능성을 보여주고 있다. 고온 초전도 Y-Ba-Cu-O 박막을 원료물질로서 $Y(thd)_3$, $Ba(thd)_2$와 $Cu(thd)_2$의 유기금속 킬레이트를 사용하였고 단결정 MgO(100), YSZ(100), $SrTiO_3(100)$와 다결정 $SrTiO_3$기판에 화학증착법을 통해 제조하였다. 박막의 증착두께는 증착시간이 증가함에 따라 선형적으로 증가하였다. 단결정 MgO(100), YSZ(100), $SrTiO_3(100)$ 기판 위에 증착한 Y-Ba-Cu-O 박막은 액체질소 비등온도($T_{C,onset}=87{\sim}89K$, $T_{C,zero}=85{\sim}86K$) 이상에서 초전도성을 나타내었으나 다결정 $SrTiO_3$ 기판은 액체질소 비등온도 이상에서 제로저항을 갖지 않았다.

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