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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
최은석 (충남대학교 재료공학과) 윤순길 (충남대학교 재료공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제11권 제11호
발행연도
2001.1
수록면
997 - 1,000 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2002

유기금속화학기상법으로 증착된 (Ba, Sr)$RuO_3$를 이용한 (Ba, Sr)$TiO_3$의 유전상수 향상에 대한 연구
최은석 ,  윤순길 한국재료학회 학술발표대회 2002.01 학술대회자료

2001

액체 운반 유기 금속 화학 기상 증착법에 의한 $(Ba,Sr)RuO_3$ 하부전극의 특성
최은석 ,  윤순길 한국재료학회지 2001.01 학술저널

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Conducting perovskite oxide, $(Ba,Sr)RuO_3(BSR)$, which has many advantages for $(Ba,Sr)TiO_3(BST)$ due to their similarity in crystal structure, lattice constant and chemical composition, was prepared on n-type Si (100) by liquid delivery metalorganic chemical vapor deposition(LDMOCVD). The deposition characteristics of BSR were controlled by gas-phase mass-transfer in the experiment. The BSR films deposited at 50$0^{\circ}C$ and oxygen flow rate of 100 sccm(standard cc/min) showed an average roughness of 22 $\AA$and resistivity of 810 $\mu$$\Omega$-cm. The roughness of BSR films with oxygen flow rate showed a close relationship with the resistivity of films. BSR (110) peak shifted toward lower Bragg angle with increase of x in the$(Ba_x,Sr_{1-x})TiO_3$. The resistivity of BSR films increased from 810 to 924 $\mu$$\Omega$-cm with increase of Ba content(x).
#BSR #DMOCVD #deposition temperature #roughness #resistivity

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