지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이 논문의 연구 히스토리 (2)
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
저압 유기금속 화학 증탁법에 의하여 Pt/Ti/SiO$_2$/Si 기판위에 (Ba$_{1-x}$ , Sr$_{x}$)TiO/$_3$박막이 제조 되었다. 제조된 BST 박막의 결정화도는 증착온도가 증가함에 따라 (100)방향으로 우선 성장하였다. 90$0^{\circ}C$에서 증착한 BST 박막은 100kHz의 주파수에서 유전상수가 365, 유전손실이 0.052를 나타내었다. 인가전계에 따라 축전용량의 변화가 작은 상유전 특성을 보였으며 0.2MV/cm인가 전계에서 축적 전하 밀도(charge storage density)는 60fC/$\mu\textrm{m}$$^2$을, 0.15MV/cm인가 전계 영역에서 누설 전류밀도(leakage current density)는 20nA/$\textrm{cm}^2$을 나타냈다.냈다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
Electrical Properites of ( Ba , Sr ) TiO3 Films Deposited by Metal-Organic Chemical Vapor Deposition
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
-
저압 유기금속 화학 증착법에 의한 (Ba,Sr)$TiO_3$박막의 제조 및 특성
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
-
단일 전구체를 사용한 (Ba, Sr)$TiO_3$ 박막의 유기금속 화학증착
한국재료학회 학술발표대회
2000 .01
-
$(Ba,Sr)RuO_3$ 산화물 전극의 열처리가 $(Ba,Sr)TiO_3$의 전기적 특성에 미치는 영향고찰
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
-
$(Ba,Sr)TiO_3$의 전기적 특성에 미치는 $Sb_2O_3$의 영향
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
-
증착시간에 따른 (Ba, Sr)TiO₃ 박막의 유전특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .11
-
액체원료 화학기상증착법으로 성장시킨 (Ba,Sr)$TiO-3$박막용 (Ba,Sr)$RuO-3$ 전극의 전기적 특성
한국재료학회 학술발표대회
2000 .01
-
$Ba_{0.5}Sr_{0.5}TiO_3$ 박막의 마이크로파 특성에 있어서 응력효과
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
-
기판온도에 따른 (Ba, Sr)TiO₃ 박막의 유전특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .07
-
유기금속화학기상법으로 증착된 (Ba, Sr)$RuO_3$를 이용한 (Ba, Sr)$TiO_3$의 유전상수 향상에 대한 연구
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
-
($(Ba_{1-X}Sr_X)TiO_3$ 후막 유전체의 소결 온도와 유전 특성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
2005 .01
-
기판온도에 따른 (Ba,Sr)TiO₃ 박막의 구조와 유전특성
전기학회논문지 C
2000 .11
-
THE EFFECTS OF OXYGEN VACANCIES ON THE ELECTRICAL PROPERTIES OF $(Ba,Sr)TiO_3$ CAPACITORS
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
-
고밀도 플라즈마에 의한 (Ba.Sr)TiO₃막의 식각특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1998 .11
-
Ba0.7Sr0.3TiO3 박막 커패시터의 마이크로파 측정 ( Microwave Measurement of Ba0.7Sr0.3TiO3 Thin Film Capacitors )
전자공학회논문지-A
1996 .02
-
Flux가 첨가된 $(Ba, Sr)TiO_3$계 유전특성
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
-
액체수송 유기금속 화학증착법 (LDS-MOCVD)에 의한 $Pb(Zr_xTi_{1-x})O_3$ 박막의 저온 ($450^{\circ}C$-$500^{\circ}C$) 증착 및 특성분석
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
-
Combinatorial Synthesis and Screening of the Eu-activated Phosphors in the System MO-$Al_2O_3-SiO_2$(M=Sr, Ba)
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2004 .01
-
유도결합 플라즈마에 의한 ( Ba , Sr ) TiO3 박막의 식각 특성 연구 ( The Study on the Etching Characteristics of ( Ba , Sr ) TiO3 Film by Inductively Coupled Plasma )
전자공학회논문지-D
1999 .04
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0