Fabrication of All-Nb Josephson Junction Array Using the Self-Aligning and Reactive ion Etching Technique

Hong, Hyun-Kwon; Kim, Kyu-Tea; Park, Se-Il; Lee, Kie-Young

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저자정보: Hong, Hyun-Kwon (Chungbuk National University, Chongju) Kim, Kyu-Tea (Korea Research Institute of Standards and Science, Deajeon) Park, Se-Il (Korea Research Institute of Standards and Science, Deajeon) Lee, Kie-Young (Chungbuk National University, Chongju)

저널정보: 한국초전도학회 Progress in superconductivity Progress in superconductivity 제3권 제1호

발행연도: 2001.1

수록면: 49 - 55 (7page)

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2001

Fabrication of All-Nb Josephson Junction Array Using the Self-Aligning and Reactive ion Etching Technique

Hong , Hyun-Kwon , Kim 외 6명 Progress in superconductivity 2001.01 학술저널

Fabrication of All-Nb Josephson Junction using the Self-aligned Contact(SAC) Process without the Selective Niobium Anodization Process(SNAP)

Hong , Hyun-Kwon , Kim 외 6명 한국초전도학회 High Temperature Superconductivity 2001.01 학술대회자료

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Josephson junction arrays were fabricated by DC magnetron sputtering, self-aligning and reactive ion etching technique. The Al native oxide, formed by thermal oxidation, was used as the tunneling barrier of Nb/$Al-A1_2$$O_3$Nb trilayer. The arrays have 2,000 Josephson junctions with the area of $14\mu\textrm{m}$ $\times$ $46\mu\textrm{m}$. The gap voltages were in the range of 2.5 ~2.6 mV and the spread of critical current was $\pm$11~14%. When operated at 70~94 ㎓, the arrays generated zero-crossing steps up to 2.1~2.4 V. To improve transmission of microwave power and prevent diffusion of oxygen into Nb ground-plane while depositing $SiO_2$dielectric, we applied a plasma nitridation process to the Nb ground-plane. The microwave power was well propagated in Josephson junction arrays with nitridation. The difference in microwave transmission 7an be interpreted by the surface impedance change depending on nitridation.

#Josephson junction array #voltage standard #zero-crossing steps #plasma nitridation

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Hong, Hyun-Kwon

소속기관 Chungbuk National University, Chongju

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 1 이용수 0

Kim, Kyu-Tea

소속기관 Division of Electromagnetic Metrology, Korea Research Institute of Standards and Science

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 3 이용수 1

Park, Se-Il

소속기관 Korea Research Institute of Standards and Science, Deajeon

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 3 이용수 0

Lee, Kie-Young

소속기관 Chungbuk National University

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

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