지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
초록· 키워드
오류제보하기
InGaAs/InGaAsP 다층박막을 corrugation이 형성된 InP 기판위에 MOVPE 방법을 이용하여 성장 시킨 후 성장조건에 따른 corrugation 높이의 변화와 석출상에 대하여 투과전자현미경을 이용하여 시킨 후 성장조건에 따른 corrugation 높이의 변화와 석출상에 대하여 투과전자현미경을 이용하여 연구하였다. Corrugation이 형성된 InP 기판을 PH3 및 AsH3가스를 동시에 공급해 주었는데 AsH3 가스의 압력이 높으면(1.8x10-2torr)많은 양의 As를 포함한 In1-xAsxP(x=0.3)석출상이 격자결함과 더불어 형성되었다. 반면에 AsH3 가스의 압력이 낮을때는 (1.0x10-3torr) corrugation의 높이가 30nm이었고, 적은 양의 As를 포함한 In1-xAsxP(x<0.1)석출상이 격자결함이 없이 형성되었다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
Zn3P2를 Source로 한 n+ -InP, u-InP, u-InGaAs 및 u-InGaAsP 의 Zn확산
대한전자공학회 학술대회
1993 .11
-
선택적 MOVPE 성장을 이용한 레이저 다이오드의 제작 ( Fabrication of 1.55 ㎛ InGaAsP / Inp Laser Diode by Selective MOVPE )
한국통신학회 광전자공학 학술회의
1998 .01
-
선택적 MOVPE 성장을 이용한 레이저 다이오드의 제작 ( Fabrication of 1.55 ㎛ InGaAsP/InP Laser Diode by Selective MOVPE )
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
-
1.5 ㎛ InGaAs/InGaAsP/InP 양자점 레이저의 상온 연속발진 특성 분석
한국통신학회 기타 간행물
2004 .11
-
Monitoring of Corrugation Growth on Tracks with Cologne Egg Fastening System
IJAR
2014 .06
-
InGaAsP / InP 광병렬 기억 장치 ( InGaAsP / InP Photonic Parallel Memory )
대한전자공학회 학술대회
1991 .01
-
수직형LPE에 의한 InGaAsP ( 1.3μm ) / InP 다층박막 결정성장 ( The Thin Multi Layer Crystal Growth of InGaAsP ( 1.3μm ) / InP by Vertical LPE System )
대한전자공학회 학술대회
1990 .07
-
Zn3P2를 Source로 한 n+ -InP , u -InP , u -InGaAS 및 u -InGaAsP 의 Zn확산 ( Zn Diffusion in n+ -InP , u -Inp , u -InGaAs and u -InGaAsP with Zn3P2 Source )
대한전자공학회 학술대회
1993 .11
-
n-InP / p-InGaAsP / n-InP 이중 이종접합구조 트랜지스터의 제작과 특성 ( FABRIFICATION OF n-InP / p-InGaAsP / n-InP DOUBLE HETEROJUNCTION BIPOLAR TRANSISTOR AND ITS STATIC CHARACTERISTICS )
대한전자공학회 학술대회
1987 .11
-
LP-MOCVD 방법에 의한 InP , InGaAs의 성장
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
-
1.3-μm InGaAsP Multiple Quantum Well Laser on ( 211 ) InP Substrate
OPTOELECTRONICS & COMMUNICATIONS CONFERENCE
1997 .01
-
InGaAsP / InP 다중양자우물의 서로섞임에서 확산계수의 결정 ( Determination of the Diffusion coefficient in InGaAsP / InP Multi-Quantum-Well Intermixing )
한국통신학회 광전자공학 학술회의
1998 .01
-
InGaAsP / InP 다중양자우물의 서로섞임에서 확산계수의 결정 ( Determination of the Diffusion Coefficient in InGaAsP / InP Multi-Quantum-Well Intermixing )
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
-
레일의 파상마모 발생 특성
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
-
수치해석적 기법을 활용한 골재 도로의 콜루게이션 발생 및 진전 분석
한국도로학회논문집
2018 .01
-
저압 유기금속 화학증착법을 이용한 InP, InGaAs 선택 에피성장
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
-
InP의 습식식각특성과 InP/InGaAs HBT의 제작
대한전자공학회 학술대회
2002 .06
-
저압 유기금속 기상화학증착법에 의한 1.3μm InGaAsP / InP UNCOOLED - LD 의 제작 ( Fabrication of 1.3 μm InGaAsP / InP Uncooled - LD Using Low Pressure MOVPE )
전자공학회논문지-A
1995 .06
-
1.55μm 파장의 InGaAsP / InP DH 레이저의 제작 ( Fabrication of 1.55μm Wavelength InGaAsP / InP Double Heterostructure Laser )
대한전자공학회 학술대회
1986 .01
-
글라이딩 하는 잠자리 날개 주름의 영향에 대한 수치해석적 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2008 .05
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0