지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
초록· 키워드
오류제보하기
콘택 홀 패턴의 미세화가 HF 용액의 침투에 미치는 영향을 파악하고자, 미세 채널 패턴에서의 산화막 습식 식각 특성을 조사하였다. LPCVD로 증착된 산화막을 두께 0.1~1$\mu\textrm{m}$, 선폭 0.1~20$\mu\textrm{m}$, 그리고 초기 깊이 ~1.2$\mu\textrm{m}$ 범위의 질화막으로 둘러 쌓인 미세 채널 패터으로 제작한 후, HF용액에 의한 산화막의 식각속도를 관찰하였다. 실험 결과로써, 크기가 $0.1 \times 0.1 \mu \textrm{m}^{2} 초기 깊이가 1.2$\mu\textrm{m}$인 고종횡비(~12)의 초미세 패턴에서도 식각 속도가 일정함을 볼 수 있어서, 콘택 홀 패턴의 미세화에 관계없이 반응액의 침투가 원활하게 이루어짐을 알 수 있었다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
CHARACTERISTICS OF Ir ETCHING FOR $0.20\mu\textrm{m}$ PATTERN
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
-
$0.15\mu\textrm{m}$Gate 전극용 건식 식각 공정에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
-
$\textrm{SiO}_2$-$\textrm{B}_2\textrm{O}_3$-CaO-$\textrm{P}_2\textrm{O}_5$계에서 조성이 Aerosol Flame Deposition법에 의해 제조된 유리박막의 열처리 온도와 굴절률에 미치는 영향
한국재료학회지
1999 .01
-
$\textrm{O}_2$ 및 $\textrm{H}_2\textrm{O}$를 산화제로 하는 $\textrm{NH}_3$/$\textrm{O}_2$산화의 성장모델 제안
한국재료학회지
1999 .01
-
Nd-Fe-B계 소결자석의 자기적 특성에 미치는 첨가원소와 결정립 분포의 영향
한국재료학회지
1998 .01
-
$p^+-cap$ 구조를 갖는 실리콘 pin 다이오드의 설계와 제작
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2003 .01
-
Bi-2212산화물 고온초전도체의 결정학적 위치에 의존하는 $^{16}\textrm{O}^{18}\textrm{O}$ 교환반응
한국재료학회지
1997 .01
-
SOFC용 $\textrm{La}_{0.68}\textrm{Ca}_{0.32}\textrm{Cr}_{0.97}\textrm{O}_{3}$의 기계적 및 전기적 특성
한국재료학회지
1997 .01
-
$\textrm{CuO}-\textrm{Bi}_{2}\textrm{O}_3-\textrm{V}_2\textrm{O}_5$계 글라스에서 조성 변화에 따른 전기 전도도의 특성
한국재료학회지
1998 .01
-
공침법으로 제조된 $\textrm{SnO}_2-\textrm{In}_2\textrm{O}_3$ 계의 가스감응특성 및 감응기구
한국재료학회지
1998 .01
-
$\textrm{Li}_2\textrm{ZrO}_3$ 계를 이용한 $\textrm{CO}_2$ 가스 센서
한국재료학회지
1999 .01
-
차세대 노광공정용 Ta박막의 $0.2\mu\textrm{m}$ 미세패턴 식각특성 연구
한국재료학회지
2000 .01
-
RF magnetron sputtering법에 의해 제조된 $\textrm{SrBi}_{2}\textrm{Ta}_{2}\textrm{O}_{9}$박막의 강유전 특성에 관한 연구
한국재료학회지
1997 .01
-
기계적 합금화 공정으로 제조한 n형 $\textrm{Bi}_{2}(\textrm{Te}_{0.9}\textrm{Se}_{0.1})_3$ 가압소결체의 미세구조와 열전특성
한국재료학회지
1997 .01
-
$(\textrm{Fe}_{1-x}\textrm{Co}_{x})_{89}\textrm{Zr}_{11}$ 비정질 자성박막의 자기특성(II)
한국재료학회지
1999 .01
-
($\textrm{Zr}_{0.8}\textrm{Sn}_{0.2}$)$\textrm{TiO}_{4}$ 세라믹스의 마이크로파 유전특성에 미치는 ($\textrm{B}_{2}\textrm{O}_{3}$.$\textrm{Li}_{2}\textrm{O}$)의 영향
한국재료학회지
1999 .01
-
HVOF 용사된 $\textrm{Cr}_{3}\textrm{C}_{2}$-NiCr 용사층의 산화 거동
한국재료학회지
1998 .01
-
Annealing 효과에 의한 $(\textrm{Li}_{1/2}\textrm{Nd}_{1/2})\textrm{TiO}_{3}$ 세라믹스의 고주파 유전특성
한국재료학회지
1997 .01
-
$\textrm{Cd}_{x}\textrm{Ni}_{1-x}\textrm{Fe}_{2}\textrm{O}_{4}$의 Mossbauer 스펙트럼
한국재료학회지
1997 .01
-
SOFC용 $\textrm{La}_{0.68}\textrm{Ca}_{0.32}\textrm{Cr}_{0.97}\textrm{O}_{3}$연결재료의 소결거동
한국재료학회지
1997 .01
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0