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자료유형
학술대회자료
저자정보
Iwahori, Hiroshi (Nitto Denko Corp, Kusatsu-shi, Shiga Japan)
저널정보
한국막학회 한국막학회 총회 및 학술발표회 한국막학회 1991년도 추계 총회 및 학술발표회
발행연도
1991.1
수록면
17 - 26 (10page)

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It can be said that the current ULSI technology has been supported and/or accomplished by a major challenge to the clean room environment and the ultrapure water equipment manufacturers as to contamination control. The required improvement in ultrapure water quality, which is shown in Figure 1, would not have been possible without significant improvements in membrane performance and enhancements in analytical capabilities.

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