반도체 제조용 초순수 생산기술 동향 및 국산화 필요성

권병수; 이상호; 강석태; 임재림

추천

검색

질문

자료유형: 학술저널

저자정보: 권병수 (K-water 연구원) 이상호 (국민대학교) 강석태 (한국과학기술원) 임재림 (K-water 연구원)

저널정보: 대한환경공학회 대한환경공학회지 대한환경공학회지 제42권 제10호

발행연도: 2020.10

수록면: 493 - 512 (20page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

초록· 키워드

오류제보하기

목적: 본 연구에서는 대외 의존성이 높은 초순수 분야에 대한 시장현황, 특허출원 및 기술 동향을 분석하여 기술 의존성 탈피를 위한 초순수 생산기술 국산화 기술개발의 방향성을 검토하고자 한다.
방법: 초순수 분야의 시장 및 특허분석, 특히, 기술을 선점하고 있는 일본 및 미국, 유럽의 공정기술을 보유한 기업들을 분석하였다. 또한, 제거대상 물질별 공정기술, 핵심소재의 연구동향, 특허 출원동향 등을 세밀히 분석하였다.
결과 및 토의: 고순도 공업용수 분야의 시장분석 결과 ’24년까지 자본투자는 399억달러로 연평균 4.1%의 꾸준한 성장세가 예상된다. 초순수 생산을 위해 요구되는 수처리 단위공정은 점점 더 복잡하고 다양해지고 있으며 최근 단위 공정의 기술 발전은 수처리를 위한 약품을 절감하기 위해 전기탈이온(EDI)과 같은 친환경 수처리공정을 개발하는 추세이다. 또한, 난분해성 미량 물질(i.e. Urea, THM, IPA 등)의 처리를 위한 신공정 개발에 관한 연구를 진행 중이다. 초순수 관련 특허 동향 분석 결과 일본의 소수 기업에서 전세계 특허의 71%를 점유하고 있다.
결론: 초순수 생산기술에서는 공정의 설계가 중요하며 단위 공정의 설계뿐만 아니라 단위 공정을 조합하여 배치하는 시스템의 설계가 초순수 기술의 핵심이다. 초순수 생산을 위한 단위 공정에 대한 기술을 보유한 국내 기업들은 다양하게 있으나, 현장 적용이 가능한 상용화 기술 및 운영을 통한 성능 보장 능력이 부족한 실정이다. 따라서 초순수 분야의 국산화 기술 개발은 단위 공정의 경우 현장 적용을 위한 테스트베드의 구축이 필요하며 수요처가 함께 기술 개발에 참여한다면 특정 국가의 소수만이 보유하고 있는 초순수 생산기술의 국산화 개발이 앞당겨질 것으로 예상된다.

Objectives : This study aims to summarize the market status, patent applications, and technology trends for the production of ultrapure water in semiconductor industries. In addition, the potential of technological localization of ultrapure water production facility is reviewed in order to incubate domestic core technologies as well as to reduce the technical dependence to the market stake holders.
Methods : Through the collection and summary of information from global water institute (GWI), market analyst firms in ultrapure water fields, and the patent analysis for the past 10 years, the technological gap between domestic and market leading in Japan, the United States, and Europe were analyzed. In addition, the research trend related to the core removal processes for the production of ultrapure water was also analyzed.
Results and Discussion : As a result of market analysis in the industrial water sector, the capital investment is expected to reach USD 39.9 billion by 2024, with a steady growth of 4.1% per year. The unit processes required for the production of ultrapure water becomes more complex and diversified, and the recent technological advancement has been mainly put on the development of eco-friendly water treatment processes such as electrodeionization (EDI) in order to reduce the chemical usage. In addition, research on the development of new processes for the treatment of hardly degradable trace substances (i.e. urea, THM, IPA, etc.) is actively under investigation. However, the patent analysis revealed that the three Japanese companies occupied 71% of the world’s patents on the ultrapure water production.
Conclusions : In ultrapure water production technology, the design of unit processes is important, and the design of a system that combines and arranges unit processes is the core technology. Thus, the incubation of domestic companies that have ability to design the array of unit processes for ultrapure water production is necessary for the localization of ultrapure water technology. However, although a few companies have completed the commercialization of core technologies, there is lack of the test field to evaluate the long-term performance of products. Therefore, for the development of domestic technologies in the ultrapure water production, it is necessary to construct a test-bed capable of evaluating the performance of domestic products. In addition, it is expected that localization of ultrapure water production technology will be facilitated with the participation of consumers.

#Ultrapure Water #Market Analysis #Research Trend #Design Technology #Patent Analysis #초순수 #시장분석 #연구동향 #설계기술 #특허분석

참고문헌 (52)

참고문헌 신청

Law on Industrial Location and Development Home Page, http://www.law.go.kr/LSW//lsInfoP.do?lsiSeq=206412&efYd=20190401#0000, April(2019). Water Law Home Page, http://www.law.go.kr/%EB%B2%95%EB%A0%B9/%EC%88%98%EB%8F%84%EB%B2%95, Norvember(2019). B. S. Choi, Issue report of ultrapure water industry and technology trends, 1st ed., Korea Agency for Infrastructure Technology Advancement(KAIA) Publishing, Anyang-si, Gyeonggi-do, Korea, pp. 1-16(2013).

Law on Industrial Integration and Factory Establishment Home Page, http://www.law.go.kr/LSW//lsInfoP.do?lsiSeq=211677&efYd=20191126#0000, Norvember(2019). K-water Water Quality Management Standards, K-water, 1st ed., K-water Publishing, Daedeok-gu, Daejeon, Korea, pp. 8-9(2019).

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

권병수

소속기관 강원대학교

주요연구분야 공학 > 건축공학 > 환경공학 TOP 10% 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 25 이용수 2,898

이상호

소속기관 국민대학교

주요연구분야 공학 > 건축공학 > 환경공학

논문수 1 이용수 1,251

Seoktae Kang

소속기관 한국과학기술원

주요연구분야 공학 > 건축공학 > 환경공학 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 102 이용수 4,936

임재림

소속기관 K-water 연구원

주요연구분야 공학 > 건축공학 > 환경공학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 6 이용수 1,468

이 논문과 함께 이용한 논문

반도체 파운드리(Foundry) 산업 주요이슈 점검

김우진 한국통신학회 학술대회논문집 2021 .06

초순수 생산을 위한 최적공정 조합 평가

이경혁 , 김동규 , 권병수 외 1명 대한환경공학회지 2016 .07

반도체 생산용 초순수 제조공정의 농축수 재이용에 따른 온실가스 발생량 평가에 관한 연구

한종민 , 정진도 , 김산 한국산학기술학회 논문지 2018 .09

견고한 반도체 제조를 위한 제어모듈의 열패키징 설계

김경준 동력시스템공학회지 2021 .06

최신 반도체 공정기술

김도영 전자공학회지 2015 .01

최근 본 자료

전체보기

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2020-539-001555202

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (52)

함께 읽어보면 좋을 논문

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

최근 본 자료

댓글(0)