지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
Development of slurry for Ru Chemical Mechanical Planarization
한국재료학회 학술발표대회
2006 .01
CMP 공정에서 Slurry Particle과 Wafer 표면간의 상호작용에 대한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
실리카 슬러리의 에이징 효과 및 산화막 CMP 특성
전기전자재료학회논문지
2004 .01
CMP용 Slurry Particle간의 상호작용에 대한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
산화막 CMP 공정에서 슬러리 온도 변화에 따른 연마 특성
전기전자재료학회논문지
2005 .01
Effect of Slurry Flow in Spray Slurry Nozzle System on Cu CMP
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2017 .02
실리카 연마제가 첨가된 재활용 슬러리를 사용한 2단계 CMP 특성
전기전자재료학회논문지
2003 .01
세리아 슬러리의 분사 두께 분포가 산화막 CMP에 미치는 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .10
혼합 연마제 슬러리를 이용한 Oxide CMP 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
혼합 연마제 슬러리를 이용한 Oxide CMP 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
혼합 연마제 슬러리를 이용한 Oxide CMP 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
Slurry의 pH가 CMP특성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1998 .05
슬러리 소비 감소를 위한 CMP 분위기 제어를 이용한 슬러리 미스트 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
인쇄회로기판 이후 세정 공정의 특성 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2014 .10
스테인리스 강 종류에 따른 맞춤형 CMP 슬러리 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
Cu CMP Slurry의 첨가제에 따른 특성 평가
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
연마제 특성에 따른 차세대 금속배선용 Al CMP (chemical mechanical planarization) 슬러리 평가
한국재료학회지
2006 .01
0